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点击系列名显示产品样本。
铝制高真空L型阀
XL□
系列/CAD
动作方式
轴密封形式
阀形式
材质
法兰尺寸
XLA
气控
波纹管密封
单作用
(N.C.)
阀体:
铝合金
波纹管:
SUS316L
16~80
XLAV
(带电磁阀)
XLC
双作用
XLCV
(带电磁阀)
XLF
O形圈密封
单作用
(N.C.)
阀体:
铝合金
16~160
XLFV
(带电磁阀)
XLG
双作用
16~80
XLGV
(带电磁阀)
XLD
波纹管・
O形圈密封
单作用
(N.C.)
阀体:
铝合金
波纹管:
SUS316L
25~80
XLDV
(带电磁阀)
XLH
手动
波纹管密封
手动
阀体:
铝合金
波纹管:
SUS316L
16~50
XLS
电磁式
波纹管压力平衡
单作用
(N.C.)
16, 25
特长
抗氟腐蚀能力强。
放出气体少。
重金属污染少。
铝制快换接头装拆 高真空L型阀
XLAQ·XLDQ
系列/CAD
动作方式
轴密封形式
阀形式
材质
法兰尺寸
XLAQ
气控
波纹管密封
单作用
(N.C.)
阀体:
铝
波纹管:
SUS316L
16~50
XLDQ
波纹管密封
O形圈密封
40,50
特长
快换接头装拆
(无需工具)
不锈钢制高真空L型阀/直通阀
XM/XY
注)对直通型无尺寸16的阀。
系列/CAD
(L型/直通型)
动作方式
轴密封方式
阀形式
材质
法兰尺寸
XMA/XYA
气控
波纹管密封
单作用
(N.C.)
阀体:
SCS13
(相当SUS304)
波纹管:
SUS316L
16~80
注)
XMC/XYC
双作用
XMD/XYD
波纹管
O型圈密封
单作用
(N.C.)
阀体:
SCS13
(相当SUS304)
波纹管:
SUS316L
25~80
XMH/XYH
手动
波纹管密封
手动
阀体:
SCS13
(相当SUS304)
波纹管:
SUS316L
16~50
注)
特长
采用精密铸造一体化结构,无气体滞留。
与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)
磁性开关
D
系列
磁性开关种类
内容
D Series
有触点的磁性开关
一般 (通用型)
无触点的磁性开关
一般 (通用型)
平稳出气阀
XVD
系列/CAD
阀形式
使用流体
配管连接方式
配管尺寸
XVD
常断
(加压通/弹簧密封)
氮气、空气、惰性气体等
VCR
®
Swagelok
®
1/4B
特长
阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
(阀芯)座部分采用间隙隔膜,微粒子数量大幅降低。
伴随主供气初期供气可进行流量调整。
门阀
XGT
系列/CAD
使用压力范围 (Pa)
使用流体
门尺寸
(高×宽) (mm)
动作压力
(MPa)
XGT
大气压~1×10
-6
惰性气体系的真空
32×222
46×236
50×336
0.45~0.6
特长
对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
真空无杆气缸
CYV
系列/CAD
使用环境压力{Pa (ABS)}
缸径 (mm)
CYV
大气~1.3×10
-4
15,32
特长
真空环境内 (1.3×10
-4
Pa) 在搬运场合可以使用的气缸。
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