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2色显示数字式流量开关   PFM
 
 

（ ）适用于使用CO2
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PFM 0.2～10 (0.2～5)
0.5～25 (0.5～12.5)
1～50 (1～25)
2～100 (2～50) 　　　　　　　　( ) 适用于使用CO2
特长
  • 空气、N2、Ar、CO2。
  • 无润滑脂规格。
  • 与流量调整阀一体化。
  • 小型、轻量、省空间。

流量传感器   PFMV
 
 
 
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PFMV 0～0.5
0～1
0～3
-0.5～0.5
-1～1
-3～3
特长
  • 用于微小工件的吸着确认。
  • 重复精度±2%F.S.以下。
  • 响应速度5ms以下、耐压500kPa。
  • 无润滑脂、对应RoHS。
  • 一个监视器可对应全部的量程。

空气用数字式流量开关   PF2A
 
 
 
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2A 1～10
5～50
10～100
20～200
50～500
150～3000
300～6000
600～12000
特长
  • 显示一体型和分离型两种形式。
  • 有开关输出、累计脉冲输出和模拟输出。
  • 瞬时流量和累计流量可切换。
  • IP65

水用数字式流量开关  PF2W
 
 
 
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2W 0.5～4
2～16
5～40
10～100
特长
  • 显示一体型和分离型两种形式。
  • 有开关输出、累计脉冲输出和模拟输出。
  • 瞬时流量和累计流量可切换。
  • 90℃高温可用。
  • IP65

纯水・化学液用数字式流量开关   PF2D
 
 
 
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2D 0.4～4
1.8～20
4.0～40
特长
  • 主体传感器部：NewPFA，管子：SuperPFA
  • 低发尘、优良的置换特性。

4通道流量监控器   PF2□200
 
 
 
系列/CAD 适用传感器 设定流量范围 (L/min)
PF2A200・201 空气用 PF2A5 0.5～10.5
2.5～52.5
5～105
10～210
25～525
PF2W200・201 水用 PF2W5 0.35～4.50
1.7～17.0
3.5～45.0
7～110
PF2D200・201 纯水・化学液用 PF2D5 0.25～4.50
1.3～21.0
2.5～45.0
特长
  • 用一个控制器可对4个流量开关进行流量管理。
  • 不同的4个流量范围可连接在1个控制器上。

膜片式流量开关  IFW5
 
 
 
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
IFW5 1～10
10～20
20～50
特长
  • 用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。
  • 带霓虹灯。

桨叶式流量开关   IF3
 
 
 
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
IF3 14～60
20～1500
36～2600
特长
  • 用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。
  • 接管口径　3/4, 1
  • 相当IP42、相当IP44。
  •  
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